产品介绍
参数介绍
应用行业: |
微电子部件行业 |
测量精度: |
Z轴方向高度量≦5um, XY轴方向水平量≦10um |
工作效率: |
C/T:5S |
零件尺寸: |
0.1mm*0.1mm~50mm*50mm |
零件高度: |
0.1mm~30mm |
设备特点: |
软件操作直观简便,具有测试数据保存和导出功能 |